| Обозначение: |   ГОСТ Р 8.659-2009 |
| Статус: | действует |
| Название рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки |
| Название англ.: | State system for ensuring the uniformity of measurements Instruments measuring the characteristics of ultraviolet radiation of technological testing of nanophotolitography.Verification procedure |
| Дата актуализации текста: | 01.01.2021 |
| Дата актуализации описания: | 01.01.2023 |
| Дата регистрации: | 00.00.0000 |
| Дата издания: | 12.08.2019 |
| Дата введения: | 01.01.2011 |
| Область применения: | Настоящий стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения, используемые при технологическом контроле в нанофотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок |
|
| Расположен в: |
|
