Скачать ГОСТ Р 8.716-2010 Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения для измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм. Методика измерений

Дата актуализации: 01.01.2023

ГОСТ Р 8.716-2010

Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения для измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм. Методика измерений

Обозначение:	ГОСТ Р 8.716-2010
Статус:	действует
Название рус.:	Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения для измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм. Методика измерений
Название англ.:	State system for ensuring the uniformity of measurements. Reflectometers of the extreme ultraviolet radiation for measurements of the characteristics of multilayer nanostructures in the wavelength range 10 to 30 nm. Measurement procedure
Дата актуализации текста:	01.01.2021
Дата актуализации описания:	01.01.2023
Дата регистрации:	00.00.0000
Дата издания:	11.07.2019
Дата введения:	01.01.2012
Область применения:	Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм - рефлектометры экстремального вакуумного ультрафиолетового излучения, предназначенные для измерения коэффициентов зеркального и диффузного отражения, и устанавливает методику измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения. ЭУФ рефлектометры обеспечивают в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне значений от 0,01 до 0,99. В качестве источников непрерывного ЭУФ излучения используют электронные накопительные кольца. В качестве источников импульсного ЭУФ излучения используют открытые излучатели на основе капиллярного разряда с испаряющейся стенкой или плазменного фокуса, а также электронные синхротроны. В качестве приемников ЭУФ излучения используют солнечно-слепые фотодиоды на основе многослойных наноструктур
Расположен в:	Государственные стандарты Общероссийский классификатор стандартов Метрология и измерения. Физические явления Метрология и измерения в целом Классификатор государственных стандартов Общетехнические и организационно-методические стандарты Государственная система измерений Государственные эталоны единиц физических величин и государственные поверочные схемы Тематические сборники Государственная система обеспечения единства измерений.