Электронная база ГОСТов
1000gost.ru
Государственные стандартыДекларация о соответствии Единый перечень продукции ТС Классификатор государственных стандартов Общероссийский классификатор стандартов Обязательная сертификация Окп Тематические сборники Технические регламенты РФ Технические регламенты Таможенного союзаСтроительная документацияТехническая документация

Условные обозначения

    Иконки:
  • - иконка документа;
  • - документ в формате PDF;
  • - версия для печати;
  • - найти документ;
  • - загрузка документа.
    Навигация:
  • - развернуть список;
  • - свернуть список.
    Статусы ГОСТов:
  • - действующий;
  • - принят (но не вступивший в силу), действует только в РФ, с неизвестным статусом;
  • - заменён, отменён, утратил силу в РФ, срок действия истёк.

Поиск по базе
Версия для печати
На главную
Перейти в начало базы ГОСТов
Перейти в начало базы Строительной документации
Перейти в начало базы Технической документации

Найти:
Где:
Отображать:
Упорядочить:

Скачать ГОСТ 5.2105-73 Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции

Дата актуализации: 01.01.2023

ГОСТ 5.2105-73

Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции

Обозначение: ГОСТ 5.2105-73
Статус:действует
Название рус.:Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции
Название англ.:Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products
Дата актуализации текста:06.04.2015
Дата актуализации описания:01.01.2021
Дата регистрации:00.00.0000
Дата издания:04.10.1973
Дата введения:01.09.1973
Область применения:Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов
Расположен в:Государственные стандарты Общероссийский классификатор стандартов Электроника Оптоэлектроника. Лазерное оборудование Классификатор государственных стандартов Электронная техника, радиоэлектроника и связь Технологическое и контрольно-испытательное оборудование для изготовления и контроля качества изделий радиоэлектроники Контрольно-испытательное оборудование для контроля качества изделий электронной и радиопромышленности Окп Приборы и аппаратура оптические Приборы оптические общепромышленного, специального и научного применения Микроскопы световые, лупы
ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73
Все права защищены © 2015-2023. 1000gost.ru Перейти на главную страницу сайта